- تعداد بازدید : ۲۷۱ بار
دستگاه لایهنشانی چند منظوره با تکنولوژی مگنترون اسپاترینگ امکان تبخیر طیف وسیعی از مواد و لایهنشانی بر روی انواع زیرلایه با جنسهای متفاوت را امکانپذیر میسازد. این دستگاه طوری طراحی گردیده است که نصب انواع دیگر چشمههای تبخیر، ملحقات و ادوات پیشرفته لایهنشانی در آن به سهولت قابل انجام میباشد.
چمبر خلأ دوجداره خنکشونده ۱۰ لیتری از جنس فولاد ضد زنگ با درب از جلو جهت کاربری آسان، مجهز به سنسور درب و سیستم خود قفلشونده و پورتهای استاندارد اضافی جهت ارتقاء سیستم (اضافه کردن چشمههای تبخیر و سایر ادوات اختیاری)
شاسی ارگونامیک با رنگ الکترواستاتیک و دسترسی آسان به قسمتهای مختلف دستگاه (تعمیر و نگهداری و ارتقای آسان)
خلأ نهایی ۵*۱۰-۵ mbar
سیستم خلأ شامل پمپهای روتاری و دیفیوژن و سایر متعلقات خلأ بالا (گیج پیرانی، گیپ پنینگ، شیرهای خلأ و …)
چشمه مگنترون اسپاترینگ ۲ اینچی آب خنک با نصب آسان
منبع تغذیه ۷۰۰ وات DC پالسی
شاتر خودکار بر روی چشمه مگنترون اسپاترینگ متصل به سیستم کنترل مرکزی MFC و شیر ورود گاز
سیستم نگهدارنده نمونه به همراه کلیه حفاظتها و سنسورهای لازم PLC سیستم کنترل مرکزی
سیستم نمایشگر لمسی با امکان ذخیره و بازیابی اطلاعات
پورتهای اضافی جهت نصب سیستمهای مختلف در سقف و کف چمبر
امکان نصب گرمکن زیرلایه تا ۲۵۰۰ °C به دلیل فلزی و ۲ جداره بودن چمبر
امکان نصب سنسور ضخامتسنج کریستالی
امکان نصب سیستم چرخان نمونه (چرخش ساده و یا چرخش سیارهای)
امکان نصب انواع چشمههای تبخیر و اتصال آن به سیستم کنترل مرکزی
مشخصات اطلاعات شرکت فروشنده این محصول
دستگاه لایهنشانی چند منظوره با تکنولوژی مگنترون اسپاترینگ امکان تبخیر طیف وسیعی از مواد و لایهنشانی بر روی انواع زیرلایه با جنسهای متفاوت را امکانپذیر میسازد. این دستگاه طوری طراحی گردیده است که نصب انواع دیگر چشمههای تبخیر، ملحقات و ادوات پیشرفته لایهنشانی در آن به سهولت قابل انجام میباشد.
چمبر خلأ دوجداره خنکشونده ۱۰ لیتری از جنس فولاد ضد زنگ با درب از جلو جهت کاربری آسان، مجهز به سنسور درب و سیستم خود قفلشونده و پورتهای استاندارد اضافی جهت ارتقاء سیستم (اضافه کردن چشمههای تبخیر و سایر ادوات اختیاری)
شاسی ارگونامیک با رنگ الکترواستاتیک و دسترسی آسان به قسمتهای مختلف دستگاه (تعمیر و نگهداری و ارتقای آسان)
خلأ نهایی ۵*۱۰-۵ mbar
سیستم خلأ شامل پمپهای روتاری و دیفیوژن و سایر متعلقات خلأ بالا (گیج پیرانی، گیپ پنینگ، شیرهای خلأ و …)
چشمه مگنترون اسپاترینگ ۲ اینچی آب خنک با نصب آسان
منبع تغذیه ۷۰۰ وات DC پالسی
شاتر خودکار بر روی چشمه مگنترون اسپاترینگ متصل به سیستم کنترل مرکزی MFC و شیر ورود گاز
سیستم نگهدارنده نمونه به همراه کلیه حفاظتها و سنسورهای لازم PLC سیستم کنترل مرکزی
سیستم نمایشگر لمسی با امکان ذخیره و بازیابی اطلاعات
پورتهای اضافی جهت نصب سیستمهای مختلف در سقف و کف چمبر
امکان نصب گرمکن زیرلایه تا ۲۵۰۰ °C به دلیل فلزی و ۲ جداره بودن چمبر
امکان نصب سنسور ضخامتسنج کریستالی
امکان نصب سیستم چرخان نمونه (چرخش ساده و یا چرخش سیارهای)
امکان نصب انواع چشمههای تبخیر و اتصال آن به سیستم کنترل مرکزی
مشخصات اطلاعات شرکت فروشنده این محصول
